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便攜式智能氣路控制儀是基于熱式氣體質(zhì)量流量控制器，來進(jìn)行四種氣體（強腐蝕性氣體除外）混合，濃度稀釋的一種裝置。可根據(jù)客戶的需求定制不同的氣體、流量、濃度稀釋范圍，并利用軟件進(jìn)行控制。

氣體質(zhì)量流量控制器WGLD-480（數(shù)字）是熱式質(zhì)量流量計。氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，以下簡稱MFC）可對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。

氣體質(zhì)量流量控制器WGL-6180（模擬）是熱式質(zhì)量流量計。氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，以下簡稱MFC）可對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。

氣體質(zhì)量流量控制器WGL-3180（模擬）是熱式質(zhì)量流量計。氣體質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller，以下簡稱MFC）可對氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測量和控制。